Kumpulan Penyelidikan Penyelidik Yang Liang di Institut Suzhou untuk Kajian Lanjutan di Universiti Sains dan Teknologi China membangunkan kaedah baru untuk logam semikonduktor logam mikro-nano pembuatan, yang mencetak laser laser laser dan litar seperti diod, triod, memristors dan litar penyulitan, dengan itu memperluaskan senario aplikasi pemprosesan mikro-nano laser ke bidang mikroelektronik, dalam elektronik fleksibel, sensor canggih, MEM pintar dan bidang lain mempunyai prospek aplikasi penting. Hasil penyelidikan baru -baru ini diterbitkan dalam "Nature Communications" di bawah tajuk "Laser Printed Microelectronics".
Elektronik bercetak adalah teknologi baru yang menggunakan kaedah percetakan untuk mengeluarkan produk elektronik. Ia memenuhi ciri -ciri fleksibiliti dan pemperibadian generasi baru produk elektronik, dan akan membawa revolusi teknologi baru kepada industri mikroelektronik. Sepanjang 20 tahun yang lalu, percetakan inkjet, pemindahan yang disebabkan oleh laser (lif), atau teknik percetakan lain telah membuat kemajuan yang besar untuk membolehkan fabrikasi peranti mikroelektronik organik dan bukan organik tanpa memerlukan persekitaran bilik bersih. Walau bagaimanapun, saiz ciri khas kaedah percetakan di atas biasanya pada urutan puluhan mikron, dan sering memerlukan proses pemprosesan suhu tinggi, atau bergantung pada gabungan pelbagai proses untuk mencapai pemprosesan peranti berfungsi. Teknologi pemprosesan mikro-nano laser menggunakan interaksi tak linear antara denyutan laser dan bahan, dan boleh mencapai struktur fungsi yang kompleks dan pembuatan peranti tambahan yang sukar dicapai dengan kaedah tradisional dengan ketepatan <100 nm. Walau bagaimanapun, kebanyakan struktur laser mikro-nano-fabrikasi semasa adalah bahan polimer tunggal atau bahan logam. Kekurangan kaedah penulisan langsung laser untuk bahan semikonduktor juga menjadikannya sukar untuk memperluaskan penggunaan teknologi pemprosesan mikro-nano laser ke bidang peranti mikroelektronik.
Dalam tesis ini, penyelidik Yang Liang, dengan kerjasama penyelidik di Jerman dan Australia, percetakan laser yang dibangunkan secara inovatif sebagai teknologi percetakan untuk peranti elektronik berfungsi, merealisasikan semikonduktor (ZnO) dan konduktor (pencetakan laser komposit μm. Kejayaan ini memungkinkan untuk menyesuaikan reka bentuk dan percetakan konduktor, semikonduktor, dan juga susun atur bahan penebat mengikut fungsi peranti mikroelektronik, yang sangat meningkatkan ketepatan, fleksibiliti, dan pengawalan peranti pencetakan mikroelektronik. Atas dasar ini, pasukan penyelidikan berjaya menyedari penulisan langsung laser bersepadu diod, memristors dan litar penyulitan yang tidak dapat direproduksi secara fizikal (Rajah 2). Teknologi ini serasi dengan percetakan inkjet tradisional dan teknologi lain, dan dijangka diperluaskan kepada percetakan pelbagai jenis bahan oksida semikonduktor P-jenis, menyediakan kaedah baru yang sistematik untuk pemprosesan peranti mikroelektronik fungsional, tiga dimensi yang kompleks, besar-besaran, tiga dimensi.
Tesis: https: //www.nature.com/articles/s41467-023-36722-7
Masa Post: Mar-09-2023